De hoogvacuüm hoekzittingsventielen uit de XL-serie bieden een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de temperatuur gelijkmatig over de volledige oppervlakte van de body wordt gespreid en de gassen binnen het ventiel minder condenseren. Het ventiel bevat geen zware metalen zoals Ni (nikkel) of Cr (chroom), terwijl de lage sputter opbrengst ook helpt om de vervuiling van de halfgeleiderwafers zo laag mogelijk te houden.
Uitstekende warmtegeleidbaarheid biedt gelijkmatige temperatuur en lagere gascondensatie binnen ventiel
Hoge corrosiebestendigheid tegen fluorgas
Minimale afvoer van gassen
Minimale vervuiling door zware metalen
Optionele verwarmers
Optionele positiesensoren
Optionele oxaalzuuranodisering voor inwendige componenten
| EAN code | . |
|---|---|
| Flensgrootte | 16 |
| Flenstype | Geen (KF(NW)) |
| Indicator/pilootpoortrichting | Zonder indicator, flenskant |
| standaard indicator, flenskant | - |
| Temperatuur/verwarmer | 5 tot 60 °C |
| Naderingsschakelaar | Zonder naderingsschakelaar en zonder ingebouwde magneet |
| Lengte aansluitdraad | 0,5 m (of geen indien geen naderingsschakelaar wordt gebruikt) |
| Aantal naderingsschakelaars/montagepositie | Geen |
| Bodyoppervlaktebehandeling | Extern |
| Afdichtingsmateriaal | FKM (1349-80) |
| Vervanging van afdichting | Geen |
| Statistiek nr. | 8481807990 |
